湿式処理において、金メッキされたIRランプを使うことで、安全を確保できます。半導体の化学的洗浄作業を行う際、実質的には揮発性で燃えやすい溶剤と共に作業していることになります。これは非常に危険な環境です。もし普通の赤外線ランプを使ってしまうと、火災が発生する可能性があります。
そのため、私たちは特別な密封処理が施された金メッキ石英ランプを使用します。これにより、スパークが化学薬品に触れるのを防ぎ、機器の腐食も防止できます。
なぜ金と石英なのか？
まず、金の層です。見た目が良いからというわけではありません。実際には、金は鏡のように作用し、赤外線エネルギーをウェーハに直接当てる役割を果たします。
最も良い点は、熱がケース内に戻って電気接続部を壊すのを防げることです。
次に石英です。耐久性が高いため、電源を切ったりつけたりしても、ガラスが割れることはありません。しかし、石英には欠点があります。つまり、多孔質であるため、化学薬品の蒸気が内部に侵入したり、表面を腐食させたりする可能性があります。
危険な領域を封じ込める
スパークや熱が燃えやすい蒸気に届かないように、ランプの端をしっかりと密封します。電極がある部分には、高温用のエポキシやセラミック製のシール材を使用します。これは、発熱するフィラメントと周囲の空気との間の物理的な壁のようなものです。
これらのランプは完全に密閉されています。もしシールが破損してしまうと、ハロゲンガスが漏れ出し、フィラメントがすぐに破壊されます。悪い話のように聞こえますが、実際にはこれが目的です。素早く破壊される方が、危険なガスがランプの内部に漏れ込むよりも安全です。
デメリット
金メッキランプは、透明な石英ランプよりもはるかに強力で速く動作します。そのため、作業時間が短縮され、生産効率が上がります。
しかし、それには代償があります。金は安くないし、コーティングも繊細です。設置時に少しでも傷がつくと、「ホットスポット」ができてしまい、加熱が不均一になります。
また、技術者には必ず手袋を着用させる必要があります。皮脂が敵です。手脂が石英に触れると、高いワット数でガラスに焼き付き、ランプ全体が壊れてしまいます。火曜日にこんなことになるのは望ましくありません。