オーブンを待つのはもうやめましょう：半導体製造においてIRが熱風より優れている理由 依然として、多くの半導体製造ラインで熱風を利用しているのを見かけます。特に古い設備ではよく見られますが、この方法では時間のロスがひどいです。 空気は熱を伝えるのが苦手です。部屋が温まるのを待つだけで貴重な時間が無駄...

無駄なエネルギーの消費をやめましょう 半導体製造においてウェーハを加熱するとき、実際には物理学の法則に逆らっていることになります。ランプから放出されるエネルギーのほとんどは、単に四方八方に散逸してしまいます。その結果、高価な電力の大部分がシリコンを加熱するのではなく、装置自体を加熱してしまいます。...

なぜトロリーヒーターには金コーティングされた反射板が使われるのか 半導体クリーンルーム用のトロリーヒーターを使用する際、重要なのはただ一つ——ウェハーに熱を届けることです。機械の金属製のケースを加熱するためにエネルギーや予算を費やす必要はありません。 そこで役立つのが金コーティングです。 金コーテ...

ウェハ製造の現場では、フォトレジストの焼成時に生じる0.5度程度のずれは「小さなエラー」とは言えません。それは、最終的な製品の品質を低下させる要因となります。フォトレジストの状態が変化し、重要な寸法がズレてしまい、工程が停滞してしまいます。私たちは、リソグラフィーや加熱処理の現実に合わせて半導体ヒ...