CNTヒーターにおけるウェーハ汚染という悪夢を止める方法 CNTの製造に携わったことがある人なら、その苦労をよく知っているでしょう。高負荷の生産を行っていると、プレッシャーも大きくなります。そんな時に、赤外線ランプが壊れてしまうのです。 それは単なる電球の故障ではありません。これは大惨事です。突然...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために クラス100の環境で作業する際、わかっているはずです。わずかなほこりや化学物質の残留物が基板に付着するだけで、そのロット全体が台無しになってしまいます。 問題は、ほとんどの加熱素子がかなり汚れやすいということです。加熱されると粒子が飛び散っ...