半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

なぜトロリーヒーターには金コーティングされた反射板が使われるのか 半導体クリーンルーム用のトロリーヒーターを使用する際、重要なのはただ一つ——ウェハーに熱を届けることです。機械の金属製のケースを加熱するためにエネルギーや予算を費やす必要はありません。 そこで役立つのが金コーティングです。 金コーテ...