クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
クラス100の環境で作業する際、わかっているはずです。わずかなほこりや化学物質の残留物が基板に付着するだけで、そのロット全体が台無しになってしまいます。
問題は、ほとんどの加熱素子がかなり汚れやすいということです。加熱されると粒子が飛び散ったり、溶剤が蒸発したりします。これは避けたい状況です。私たちは、高純度の合成石英と炭素繊維フィラメントを使用することでこの問題を解決しました。
石英が重要な理由
ほとんどのランプは、標準的なガラスや安価な石英を使用していますが、高温になると「煙が出たり」破片が飛び散ったりします。これはクリーンルームにとって大きな問題です。
私たちは融結シリカ石英を使用しています。非常に純度が高いため、起動時に揮発性有機化合物が漏れ出る心配もありません。また、炭素繊維フィラメントは真空密閉されたチューブに包まれており、熱は通過しますが、他のものは外に出ません。
熱は純粋に放射熱です。粒子が漏れ出ることもなく、空気中に不純物が混入することもありません。つまり、クリーンな熱源です。
適切な温度を維持する
タングステンコイルを使ったことがある人なら、その不安定さがわかるでしょう。部分的に過熱してしまい、部品が変形してしまうことがあります。
しかし、炭素繊維は違います。熱をランプ全体に均等に分配してくれます。安定しています。
ただし、注意点があります。これらの装置は目標温度に到達するのが速いです。熱流量が高いため、筐体がその熱を処理できるかどうかを確認する必要があります。冷却システムが不十分だと、ランプのソケットが壊れてしまい、予定より早く故障してしまいます。
業務に簡単に導入できる
私たちは、これらの装置を簡単に利用できるように設計しました。半導体や医療機器の生産ラインに直接取り替えるだけです。
シールがしっかりしているため、フィラメントが酸化することもありません。また、石英に化学コーティングを施していないため、装置の寿命が長くなります。
つまり、認証を危険にさらさず、安定したクリーンな熱源が得られるのです。