UHP 超純度 ヒーターランプ

ウェーハの加熱を適切に行うために 半導体製造の現場では、「清潔さ」は単なる好みに過ぎないわけではなく、非常に重要な要素です。そのため、私たちはUHP（超高純度）ヒーターランプを使用しています。 実際、シリコンウェーハを加熱するときは、その表面に光子がしっかりと当たることが求められます。チャンバーの...