赤外線ランプがウェーハを台無しにするのを防ごう 高負荷な生産時に赤外線ランプが破損してしまった経験がある人なら、それがどれほど厄介なことかわかるでしょう。単に生産停止になるだけではありません。 クォーツ管が破損すると、まるでガラス製の手榴弾のようになってしまいます。結果として、あちこちに破片や金属...

ウェハーの硬化処理における熱の無駄遣いを止めましょう。 標準的な赤外線ランプには、問題点があります。それは、熱があらゆる方向に放出されてしまうということです。半導体の硬化処理を行う際、これは単なるエネルギーの無駄に過ぎません。反射板がない場合、その熱の大部分がウェハーではなく、装置の壁に当たってし...

スマートファブで正確な温度データを取得するには スマートファブを構築する際、まず最初にやるべきことは、接触型センサーを使わないことです。本当にそうです。 高処理能力のウェーハ処理装置では、遅延が許されません。さらに、物理的なプローブを使用すると、汚染のリスクが高くなります。だからこそ、私たちは赤外...

リソグラフィ工程では状況をよく理解しているはずだ。ウェハードライヤーのランプがたった0.2℃ずれても、重要寸法のバイアスが規格外に押し出される可能性がある。ソフトベイクとハードベイクは単なる熱処理ではなく、溶剤除去、ポリマーの架橋、線幅制御を設定する工程だ。ランプが不安定になると、その時点で歩留ま...