加熱時でもクラス100のクリーンルームを清潔な状態に保つために
スマートセンサーを梱包する際、「清潔さ」は単なる目標ではなく、何よりも重要な要素です。クラス100の環境では、わずかな酸化金属の破片やほこり一つでも、大量の製品が台無しになってしまいます。これは本当に厄介な問題です。
問題点としては、一般的な加熱素子は、加熱や冷却のたびに微粒子を放出してしまうからです。
なぜ高純度の石英を使用するのか
このような汚染を防ぐために、私たちは赤外線ランプに高純度の合成石英を使用しています。
普通のガラスや安価な材料では、熱ストレスに耐えられません。時間が経つにつれて、これらの材料は劣化し、微粒子を生産ラインにまき散らすようになります。これは良くありません。
私たちの使用する石英は、急激な膨張にも耐えられるように作られています。また、クリーンで短波長の赤外線を放出し、直接対象物に当たります。周囲の空気を加熱してエネルギーを無駄にすることもないため、床のほこりが舞い上がるといった問題もありません。
ランプの設置と熱管理
これらのランプは狭いスペースでの使用を想定して作られています。ワット数や電圧を調整することで、熱がセンサーの梱包に必要な場所にだけ行くようにしています。
ただし、冷却装置については注意が必要です。
これらのランプは小さな面積に多量のエネルギーを集中させるため、端部分が非常に熱くなります。安価な配線を使うと問題が起こります。高温に耐えられる配線を使用し、シャーシの放熱機能が十分に機能するようにしてください。冷却がうまくいかないと、ランプの取り付け部分が変形してしまう可能性があります。
収率を維持するための要点
加熱処理中もクラス100の基準を維持したいのであれば、微粒子の発生を防ぐ必要があります。
揮発性有機化合物や金属不純物を排除することで、作業環境に汚染物質が漏れ出さないランプを作り出しました。これにより、収率を高く保ち、認証を維持することができます。