シャードの発生を防ぐ：ランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法
大量生産を行う半導体製造において、ランプが壊れるというのは、単なる面倒事や短時間の停止にとどまりません。それはまさに悪夢です。石英管が破裂すると、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハに降り注ぎます。一度だけでもそうなれば、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。
私たちは、このような事故を防ぐために、特別に金でコーティングされた赤外線ランプを開発しました。
なぜ金が重要なのか
反射板に高純度の金をコーティングする理由は、アルミニウムに比べて赤外線をより効果的に扱えるからです。これにより、必要な場所、つまりウェーハに熱が届きやすくなります。その結果、ランプの筐体が余計な熱を吸収する必要がなくなります。
つまり、ランプの温度が下がり、内部圧力も低下します。圧力が低ければ、ランプが爆発する可能性も大幅に減少します。
厳しい環境に耐えられる設計
もし激しい生産サイクルを行っている場合、耐久性の高い部品が必要です。私たちは、急激な温度変化にも耐えられる厚壁の熔融石英を使用しています。
また、ランプが通常どこで壊れるかも考慮しました。ほとんどの場合、接続部が壊れます。そのため、端子の仕様を工夫して、放電を防ぎます。これにより、ランプの破壊を防ぐことができます。
さらに、念のために、破損時に破片が飛び散らないようなシステムも搭載しました。そうすれば、破片がウェーハに当たることはありません。つまり、制御された形で故障が起こります。
注意点と対処法
完璧なものはありません。高密度の赤外線加熱には常にバランスを取る必要があります。
金でコーティングされた反射板は優れていますが、清掃には少し手間がかかります。もし、過度に強力な溶剤や化学薬品を使った場合、コーティングが剥がれてしまいます。それになると、加熱効率が悪くなります。
そのため、メンテナンス担当者には、研磨性のないウェップを使うように伝えてください。シンプルに扱うことが大切です。反射板が汚れると、ランプはより多くのエネルギーを使って作動し、寿命が短くなります。清潔に保てば、ランプは正常に動き続けます。