ウェーハ加工において、熱フラックスを正しく制御することは非常に重要です。工場でエネルギーを無駄にするのは、単なるコストの問題だけではありません。それは明らかな失敗です。工場内のランプのスイッチを入れるとき、出力されるすべてのワット数がウェーハの表面に届く必要があります。エネルギーが部屋中に散らばっ...

もう、高価な装置をオーブンのように使うのはやめましょう。 通常の対流式乾燥機では、装置全体が巨大なトースターのようになってしまいますよね？ それは、空気を加熱しているからです。空気を加熱すると、内壁を含むあらゆるものが熱くなってしまいます。これは問題です。高価な装置が過熱してしまい、操作員は毎回「...

化学洗浄エリアにおける火災リスクの対処法 ファブのクリーンルームを改修する際、化学洗浄の段階では注意が必要です。可燃性の溶剤を扱うわけですから、通常の赤外線ランプを使ってしまうと、火事が起きる可能性があります。これは非常に大きなリスクです。そのため、私たちは特殊なケースを使ってIRヒーターを作成し...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために クラス100の環境で作業する際、わかっているはずです。わずかなほこりや化学物質の残留物が基板に付着するだけで、そのロット全体が台無しになってしまいます。 問題は、ほとんどの加熱素子がかなり汚れやすいということです。加熱されると粒子が飛び散っ...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために クラス100の環境で作業するとき、最も避けたいのは、ヒーターがまるで「コンフェティマシン」のように機能してしまうことです。 一般的なヒーターの外装は本当に厄介です。温度が上がると、表面から剥がれ落ちたり、VOCが発生したりします。これは目に...

技術的詳細：パワーと精度 ラピッドサーマルプロセッシングにおいて、適切な熱処理システムを選定する際には、単に強力な加熱能力だけでなく、再現性の高い加熱性能も必要です。当社の優れたRTPランプは、有名な高級機器に代わる高性能な代替品として設計されています。 このランプは400Vの電圧で動作し、迅速な...

はじめに 国産の半導体製造用機器の代替品を探しているとき、何が重要かわかりますか？それは数値です。宣伝文句ではありません。 私たちが開発したこのハロゲン赤外線ランプは、既存のOEM製品と同じ性能と信頼性を持っています。しかし、配線を変更したり、全体の設計を見直したりする必要はありません。要点は、必...

リソグラフィー工程においては、90℃での弱い加熱処理を行う際、温度が0.3℃でも変動してしまうと、全体の線幅にばらつきが生じてしまいます。温度の均一性は単なる好みではなく、必須の条件なのです。 技術的に重要な点 私たちが開発したこのセラミック製のランプホルダーは、フォトレジスト処理用の加熱装置とし...