ウェーハ加工において、熱フラックスを正しく制御することは非常に重要です。工場でエネルギーを無駄にするのは、単なるコストの問題だけではありません。それは明らかな失敗です。工場内のランプのスイッチを入れるとき、出力されるすべてのワット数がウェーハの表面に届く必要があります。エネルギーが部屋中に散らばっ...

ファブの現場では、フォトレジストの処理は単純に温度で測定されます。ソフトベイクやハードベイクの際に2℃の温度変動があるだけで、重要な寸法に影響を与えてしまいます。また、ヒーターから出る微粒子1つだけで、製品の歩留まりが悪化してしまうこともあります。Clear Quartz Infrared...

300mmラインにおいて、フォトレジストのベイク性能はオーバーレイとCD均一性のゲートキーパーとなる。ソフトベイクまたはハードベイク中にウェーハ全体で数度の温度ずれが生じると、重要寸法が規格外となり、数時間分の作業が廃棄される可能性がある。ヒーターは設定温度に即座に到達し、振動なく保持し、チャンバ...