クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
クラス100の環境で作業するとき、最も避けたいのは、ヒーターがまるで「コンフェティマシン」のように機能してしまうことです。
一般的なヒーターの外装は本当に厄介です。温度が上がると、表面から剥がれ落ちたり、VOCが発生したりします。これは目に見えないものですが、実際には存在しており、すべてを台無しにしてしまいます。私たちは、高純度の石英ランプとカスタムメイドのステンレス鋼を使うことで、この問題を解決しました。
なぜ合成結晶石英を使用するのか？
これは、加熱における最高基準と言えます。安価なガラス製のヒーターとは異なり、この素材は高温になっても分解されたり、微細な破片が飛び出したりしません。そのため、ウエハーに雪のようなものが付着したり、基板に不純物が付着したりすることはありません。
さらに、赤外線を利用しているため、エネルギーは直接対象物に届きます。部屋中に強制的に空気を送風する必要がないので、ほこりが一方の隅から別の隅へ移動することもありません。
製造品質について（多くの人が失敗する点）
通常、システムが失敗するのは外装部分です。私たちは316Lステンレス鋼を使って外装を作り、鏡のように磨き上げています。なぜでしょうか？金属の隙間は、実質的にほこりが住む場所だからです。
また、接着剤や安価なゴム部品の使用も禁止しています。すべてTIG溶接で接合され、表面処理も施されています。これにより、清潔で反応しない環境が保たれます。さらに、電気接点が酸化して汚れが残らないように、特別なコネクタも使用しています。
注意すべき点
高純度の石英はもろいため、大きな温度変化には耐えられますが、レンチで叩いてしまうと壊れてしまいます。
マウントを設計する際には、金属と石英が接触しないようにしてください。PTFEやセラミックの絶縁体を使って、ランプを浮かせるようにします。これが安全を保つ唯一の方法です。
そしてもう一つ、赤外線加熱は非常に強力です。瞬時に局所的に高温になります。十分な排気や放熱対策をしなければ、ケースが変形してしまいます。
スイッチを入れる前に、必ず空気の流れを確認してください。