真空対応型赤外線ヒーター

本当に重要な場所により多くの熱を届けるために 真空状態で作業を行うと、物理法則と戦っているようなものです。空気を利用して熱を移動させることはできず、対流も起こりません。そのため、放射に頼るしかありませんが、これはかなり難しい問題です。 ウェーハに届かない1ワットのエネルギーも、無駄な熱として捨てら...