クリーンルームの機器が過熱しないようにしましょう。 多くの人々は、物を温めるために対流式ヒーターを使っています。しかし、半導体製造の現場では、これは大きな問題を引き起こします。なぜでしょうか？それは、熱がどこへでも広がってしまうからです。 空気を温めると、周囲のものもすべて熱くなります。機器の内壁...

化学洗浄エリアにおける火災リスクの対処法 ファブのクリーンルームを改修する際、化学洗浄の段階では注意が必要です。可燃性の溶剤を扱うわけですから、通常の赤外線ランプを使ってしまうと、火事が起きる可能性があります。これは非常に大きなリスクです。そのため、私たちは特殊なケースを使ってIRヒーターを作成し...

なぜトロリーヒーターには金コーティングされた反射板が使われるのか 半導体クリーンルーム用のトロリーヒーターを使用する際、重要なのはただ一つ——ウェハーに熱を届けることです。機械の金属製のケースを加熱するためにエネルギーや予算を費やす必要はありません。 そこで役立つのが金コーティングです。 金コーテ...