ウェーハ処理装置用温度センサー

スマートファブで正確な温度データを取得するには スマートファブを構築する際、まず最初にやるべきことは、接触型センサーを使わないことです。本当にそうです。 高処理能力のウェーハ処理装置では、遅延が許されません。さらに、物理的なプローブを使用すると、汚染のリスクが高くなります。だからこそ、私たちは赤外...