金製反射器付き赤外線ランプ

シャードの発生を防ぐ：ランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 大量生産を行う半導体製造において、ランプが壊れるというのは、単なる面倒事や短時間の停止にとどまりません。それはまさに悪夢です。石英管が破裂すると、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハに降り注ぎます。一度だけでもそうなれば、そのロ...