高効率ウェハードライヤーバルブ

300mmラインにおいて、フォトレジストベーク中の0.3℃のドリフトは、管理された稼働と全ロット廃棄の差を意味する。このドライヤーバルブは単なる消耗品ではなく、プロセスウィンドウを定義する熱的アンカーである。 技術的に重要な点 これらのウェハードライヤーバルブは、ソフトベークからハードベークまでの...