もう、高価な装置をオーブンのように使うのはやめましょう。 通常の対流式乾燥機では、装置全体が巨大なトースターのようになってしまいますよね？ それは、空気を加熱しているからです。空気を加熱すると、内壁を含むあらゆるものが熱くなってしまいます。これは問題です。高価な装置が過熱してしまい、操作員は毎回「...

OLEDリソグラフィラインにおけるドリフトの許容はない フォトレジストの焼成中に半度の摂氏の変化があるだけで、重要な寸法がずれ、マスクレベル全体が廃棄される可能性があります。熱的なバジェットを実際のプロセスパラメータとして扱う乾燥ランプが必要です。 内部で重要な要素 私たちは、クォーツエンベロープ...