クリーンルームの機器が過熱しないようにしましょう。
多くの人々は、物を温めるために対流式ヒーターを使っています。しかし、半導体製造の現場では、これは大きな問題を引き起こします。なぜでしょうか？それは、熱がどこへでも広がってしまうからです。
空気を温めると、周囲のものもすべて熱くなります。機器の内壁も高温になり、その結果、キャビネットの外側の表面も触れるのが危険になります。さらに、クリーンルーム全体の温度も乱れてしまいます。本当に厄介です。
より良い方法
私たちが見つけたのは、短波赤外線ランプを使うことです。これは、スペースヒーターの代わりに使える手电筒のようなものです。赤外線は放射型で、直線的に進みます。
ランプをウェーハや基板上に向けるだけで、エネルギーは正確に目的の場所に届きます。周囲の空気や機器の壁は、その特定の波長を吸収しないため、ほとんど熱くなりません。
適切な設定
小さな空間に多くのエネルギーを詰め込む必要があります。そのため、私たちは通常、石英ハロゲン管を使用します。これにより、素早く高い温度に達するため、大きくて重い加熱要素を使う必要はありません。
ただし、注意点があります。ランプと対象物との距離を正確に調整する必要があります。距離が近すぎると、熱が集中して作業を台無しにしてしまいます。逆に遠すぎると、レーザーのような集中されたエネルギーを得られません。通常は、ビームを絞るために反射板を使用します。そうすることで、エネルギーがワークピースに集中し、筐体内に漏れ出るのを防ぎます。
課題
完璧なものはありません。このような高密度のランプは、大量の電流を消費し、非常に高温になります。確かに、キャビネットの外側は冷たいままですが、ランプ自体は激しく熱くなります。冷却ファンや水冷却装置が十分に機能しているかを確認する必要があります。冷却が不十分だと、ランプは予想よりも早く壊れてしまいます。
そして、絶対に標準的なPVCケーブルを使ってはいけません。それではケーブルが溶けてしまいます。PTFEやガラス繊維製のコーティングを施したケーブルを使うことで、熱によってケーブルが溶けるのを防げます。