OLED製造用乾燥ランプ

OLEDリソグラフィラインにおけるドリフトの許容はない フォトレジストの焼成中に半度の摂氏の変化があるだけで、重要な寸法がずれ、マスクレベル全体が廃棄される可能性があります。熱的なバジェットを実際のプロセスパラメータとして扱う乾燥ランプが必要です。 内部で重要な要素 私たちは、クォーツエンベロープ...