CNTヒーターにおけるウェーハ汚染という悪夢を止める方法 CNTの製造に携わったことがある人なら、その苦労をよく知っているでしょう。高負荷の生産を行っていると、プレッシャーも大きくなります。そんな時に、赤外線ランプが壊れてしまうのです。 それは単なる電球の故障ではありません。これは大惨事です。突然...

OLEDリソグラフィラインにおけるドリフトの許容はない フォトレジストの焼成中に半度の摂氏の変化があるだけで、重要な寸法がずれ、マスクレベル全体が廃棄される可能性があります。熱的なバジェットを実際のプロセスパラメータとして扱う乾燥ランプが必要です。 内部で重要な要素 私たちは、クォーツエンベロープ...