半導体ヒーターの供給業者

ウェハ製造の現場では、フォトレジストの焼成時に生じる0.5度程度のずれは「小さなエラー」とは言えません。それは、最終的な製品の品質を低下させる要因となります。フォトレジストの状態が変化し、重要な寸法がズレてしまい、工程が停滞してしまいます。私たちは、リソグラフィーや加熱処理の現実に合わせて半導体ヒ...