半熱処理におけるエネルギーの無駄遣いを防ぐ 正直に言って、昔ながらのクリーンルーム用オーブンというのは、数枚のウェーハを適切な温度にするためだけに、部屋全体を温めようとする巨大なヒーターに過ぎません。空気や壁、天井など、本来重要でない部分も一緒に加熱されてしまいます。これは大変なエネルギーの無駄で...

ファブ内の二酸化炭素排出量を削減するために：なぜ私たちは赤外線ランプを採用しているのか 率直に言って、半導体製造においては熱管理が大きな課題です。極めて高い精度が求められますが、それを実現するためには多くのエネルギーが消費されます。長年にわたり、従来の対流式オーブンや抵抗加熱器を使ってきましたが、...

クリーンルームの機器が過熱しないようにしましょう。 多くの人々は、物を温めるために対流式ヒーターを使っています。しかし、半導体製造の現場では、これは大きな問題を引き起こします。なぜでしょうか？それは、熱がどこへでも広がってしまうからです。 空気を温めると、周囲のものもすべて熱くなります。機器の内壁...

化学洗浄エリアにおける火災リスクの対処法 ファブのクリーンルームを改修する際、化学洗浄の段階では注意が必要です。可燃性の溶剤を扱うわけですから、通常の赤外線ランプを使ってしまうと、火事が起きる可能性があります。これは非常に大きなリスクです。そのため、私たちは特殊なケースを使ってIRヒーターを作成し...

なぜトロリーヒーターには金コーティングされた反射板が使われるのか 半導体クリーンルーム用のトロリーヒーターを使用する際、重要なのはただ一つ——ウェハーに熱を届けることです。機械の金属製のケースを加熱するためにエネルギーや予算を費やす必要はありません。 そこで役立つのが金コーティングです。 金コーテ...

保育室は静かであるべきです。まるで隅で何かが動いているような音がしたりしない状態が理想的です。夜間に部屋の温度が下がると、ブーブーという音を立てたり、風を送り出すヒーターが赤ちゃんを起こしてしまうことがあります。また、空気が乾燥したり、酸素濃度が変化したりする心配もあります。そのため、多くの小児科...

このヒーターは、静寂が絶対条件となる場所のために作られました。工業用エンクロージャー、制御室、試験室など、騒音のあるファンが全体の雰囲気を台無しにしてしまう場所を想像してください。そこで私たちは、直接放射型のハロゲンランプを採用しました。必要な場所にピンポイントで強烈な熱を届け、ファンを一切使わず...

私たちはこの小さなルームヒーターをたった一つのシンプルな理由で作りました。それは、「どうやって大量の熱を本当に小さな場所に詰め込むか？」ということです。 その心臓部は高輝度ハロゲンランプです。通常の対流ヒーターのようなかさばる部分が不要で、素早く集中した暖かさを放ちます。 電力、電圧、サイズ...