加熱時でもクラス100のクリーンルームを清潔な状態に保つために スマートセンサーを梱包する際、「清潔さ」は単なる目標ではなく、何よりも重要な要素です。クラス100の環境では、わずかな酸化金属の破片やほこり一つでも、大量の製品が台無しになってしまいます。これは本当に厄介な問題です。 問題点としては、...

スマートファブで正確な温度データを取得するには スマートファブを構築する際、まず最初にやるべきことは、接触型センサーを使わないことです。本当にそうです。 高処理能力のウェーハ処理装置では、遅延が許されません。さらに、物理的なプローブを使用すると、汚染のリスクが高くなります。だからこそ、私たちは赤外...