クリーンルーム用オーブン 赤外線ヒーター

半熱処理におけるエネルギーの無駄遣いを防ぐ 正直に言って、昔ながらのクリーンルーム用オーブンというのは、数枚のウェーハを適切な温度にするためだけに、部屋全体を温めようとする巨大なヒーターに過ぎません。空気や壁、天井など、本来重要でない部分も一緒に加熱されてしまいます。これは大変なエネルギーの無駄で...