中波石英ヒーター管

300mmラインにおいて、フォトレジストのベイク性能はオーバーレイとCD均一性のゲートキーパーとなる。ソフトベイクまたはハードベイク中にウェーハ全体で数度の温度ずれが生じると、重要寸法が規格外となり、数時間分の作業が廃棄される可能性がある。ヒーターは設定温度に即座に到達し、振動なく保持し、チャンバ...