炭化ケイ素 SiC フラームランプ

フォトレジストの焼成処理においては、熱処理の精度が非常に重要です。±0.1℃の精度を維持する必要があります。そうでなければ、ドリフトによってウェーハ上の情報が失われ、廃棄処分となってしまいます。ランプの性能が低下すると、再作業や廃棄処分、計画外の停止時間などのコストが発生します。そのため、私たちは...