低温システム用サポートヒーター

ウェーハ乾燥やフォトレジスト処理の際に、温度が変動すると、その影響を即座に感じることができます。収率が低下してしまいます。クライオステージが設定値に到達した瞬間、サポートヒーターがウェーハ表面を固定する必要があります。もし何らかのずれや不均一さがあると、線幅のばらつきや汚れが発生します。 重要な点...