오븐을 기다리는 것을 그만두세요: 반제품 처리에서 적외선이 열공기보다 우월한 이유
여전히 많은 반도체 생산 라인에서 열공기를 사용하고 있습니다. 특히 구형 설비에서는 흔한 일이지만, 실제로는 매우 비효율적입니다.
공기는 열을 전달하는 데 아주 서툴러서, 공간이 따뜻해질 때까지 오랜 시간을 기다려야 하며, 그 후에도 웨이퍼가 제대로 가열되기까지 또 다시 시간을 낭비해야 합니다. 정말 힘든 과정입니다.
해결책은 적외선입니다.
방 안이 따뜻해지기를 기다리는 것과 직사광선 아래에 서 있는 것의 차이를 생각해보세요. 적외선은 중간 매개체 없이 전자기파를 직접 작업물에 전달합니다.
따라서 큰 공간을 가열하는 대신 재료 자체를 직접 가열하기 때문에, 가열 속도가 훨씬 빨라집니다. 한 번의 가열 주기에 30초만 단축될 수 있다면, 매달 수백 시간을 절약할 수 있습니다. 이는 상당한 시간 절약입니다.
전선에 대해서도 알아야 할 점이 있습니다.
자주 간과되는 사실은, 고밀도 적외선 히터는 매우 뜨거워진다는 것입니다. 일반적인 PVC 전선을 사용하면 전선이 녹거나 가스가 발생할 수 있으며, 이는 청정한 환경에서는 치명적인 문제가 됩니다.
그래서 우리는 테플론(PTFE) 코팅된 전선을 사용합니다. 테플론은 열을 견디면서도 전선이 손상되는 것을 방지합니다. 게다가 전선이 히터 케이스에 바짝 붙어 있는 경우에도 테플론은 전기적 단락을 방지하여 생산에 문제가 생기는 것을 막아줍니다. 저렴한 전선을 사용하는 것은 위험한 선택입니다.
단점도 있습니다.
적외선도 마법의 도구는 아닙니다. 방향성이 있기 때문입니다.
부품의 형태가 복잡하거나 깊은 곳이 있다면, 빛이 그 부분을 비추지 못해 가열되지 않을 수 있습니다. 따라서 램프를 어디에 배치할지 신중하게 결정해야 합니다.
또한, 작은 공간에 많은 열을 집중시키기 때문에, 냉각 팬도 충분히 강력해야 합니다. 웨이퍼가 가열되는 동안 주변의 전자장치가 손상되는 것을 원하지 않으니까요.
하지만 대부분의 경우, 적외선을 사용하는 것이 가동 중단 시간을 줄이고 생산성을 높이는 가장 현명한 방법입니다.