열을 낭비하지 마세요.
반도체 제조 과정에서 웨이퍼를 가열할 때, 사실상 우리는 물리 법칙과 싸우고 있는 셈입니다. 램프에서 나오는 에너지의 대부분은 그냥 흩어져 버립니다. 에너지는 모든 방향으로 퍼져나가고, 결국 비싼 전력의 상당 부분이 실리콘을 가열하는 데 사용되지 못하고 하우징만을 가열하게 됩니다.
이는 명백한 낭비입니다. 게다가 매우 짜증나는 일이죠.
왜 금을 사용할까요?
반사광판에 금을 코팅하는 이유는 간단합니다. 금은 적외선을 가장 잘 반사하기 때문입니다. 물론 알루미늄도 저렴하지만, 산화되어 광택이 사라집니다. 반면 금은 그런 문제가 없습니다. 금은 항상 날카로운 상태를 유지하며, 장파장의 방사선을 웨이퍼 쪽으로 다시 보냅니다.
하지만 이건 단순히 전기 요금 문제가 아닙니다. 이는 에너지를 효과적으로 제어하는 문제입니다. 금 반사광판의 형태를 적절히 조절함으로써 에너지를 집중시킬 수 있습니다. 그러면 목표 온도에 더 빨리 도달할 수 있으며, 실리콘 전체에 걸쳐 일정한 온도를 유지할 수 있습니다. 바로 여기서 진정한 효과가 나타나는 것입니다.
절충점
반사율을 높일 때는 선택의 폭이 생깁니다. 같은 온도를 유지하면서 전력을 줄일 수도 있고, 전력을 그대로 유지하면서 가열 속도를 크게 줄일 수도 있습니다.
하지만 냉각 문제에 주의해야 합니다. 너무 많은 에너지를 작은 공간에 집중시키면 곳곳이 빠르게 뜨거워집니다. 만약 케이스의 냉각 시스템이 그런 강도를 감당할 수 없다면, 주변의 전자 부품들이 손상될 수 있습니다.
간편한 설치
이 제품들은 설치가 매우 간단합니다. 기존의 가열 장치를 대체할 수 있습니다. 기존의 전원 공급 장치에 연결하기만 하면 됩니다.
즉시 차이를 느낄 수 있습니다. 웨이퍼가 목표 온도에 도달하는 데 걸리는 시간이 훨씬 짧아집니다. 다만, 열전대를 꼭 확인해야 합니다. 열전달이 훨씬 빠르기 때문에, PID 제어 시스템이 이러한 속도에 맞게 조정되어 있지 않다면 오작동할 수 있습니다.