왜 트롤리 히터에 금 도금된 반사체를 사용하는가? 반도체 청정실용 트롤리 히터를 사용할 때, 중요한 것은 단 한 가지뿐입니다. 바로 웨이퍼에 열을 전달하는 것입니다. 기계의 금속 프레임을 가열하는 데 에너지나 예산을 낭비하고 싶지 않습니다. 그래서 여기서 금이 필요합니다.
금 도금의 장점
일반적인 알루미늄 반사체를 사용하면 많은 에너지가 낭비됩니다. 그 에너지는 그대로 흡수되거나 공기 중으로 흩어집니다. 이는 매우 낭비적인 방식입니다. 고순도 금 층을 추가함으로써, 적외선 영역에서의 반사율을 98% 이상으로 높일 수 있습니다. 마치 열을 반사하는 거울과 같습니다. 히터가 방 전체를 따뜻하게 하는 대신, 금이 그 광자들을 웨이퍼 쪽으로 다시 반사해줍니다. 그 결과, 훨씬 더 정밀한 열 분포가 얻어지며, 목표 온도에 도달하는 속도도 훨씬 빨라집니다. 정말 효율적입니다. 그게 전부입니다.
열 관리 문제
하지만 문제가 있습니다. 웨이퍼를 적절한 온도로 유지하기 위해서는, 이러한 히터들은 작은 공간 안에 많은 와트의 에너지를 집약시켜야 합니다. 이 방식은 웨이퍼에는 효과적이지만, 트롤리의 프레임에는 큰 부담을 줍니다. 주의하지 않으면, 그 열이 청정실의 다른 곳으로 퍼져나가서 온도 조절에 문제가 생길 수 있습니다. 따라서 프레임에 적절한 환기 시스템이 있거나, 효과적인 방열 장치가 있어야 합니다. 열은 웨이퍼가 있는 곳에만 집중되어야 합니다.
작동시키고 유지하기
이러한 반사체들은 그대로 교체할 수 있도록 설계되어 있습니다. 따라서 전체 히터를 다시 설치할 필요가 없습니다. 금의 가장 큰 장점은 화학적으로 안정적이라는 점입니다. 녹슬지도 않고, 산화되지도 않으며, 수백 번의 가열 사이클 후에도 벗겨지지 않습니다. 보통 연마된 강철이나 알루미늄의 경우에는 효율성이 점차 떨어지는 문제가 있지만, 금은 그런 문제가 없습니다. 설치 시 주의할 점은 전원 공급 장치를 반드시 확인하는 것입니다. 전압이 변동하면 히터의 출력도 변동합니다. 그러면 웨이퍼에 불균일한 온도가 생기게 됩니다. PID 제어 시스템을 잘 관리한다면, 문제없이 작동할 것입니다.