실제로 중요한 곳에 더 많은 열을 전달하기 진공 상태에서 작업할 때는 물리 법칙과 싸우는 것과 같습니다. 공기를 이용해 열을 이동시킬 수 없으므로, 대류 현상도 일어나지 않습니다. 그렇다면 남는 것은 방사능뿐이며, 이 부분이 가장 문제가 됩니다. 웨이퍼에 도달하지 못...

진공 챔버를 가열하는 것을 그만두세요. 반도체 공장에서 일해본 사람이라면 누구나 이 문제를 잘 알고 있습니다. 웨이퍼를 가열해야 하지만, 진공 챔버를 오븐처럼 사용하고 싶지는 않습니다. 일반적인 적외선 램프는 마치 강력한 전구와 같아서 열을 모든 방향으로 방출합니다....