오븐을 기다리는 것을 그만두세요: 반제품 처리에서 적외선이 열공기보다 우월한 이유 여전히 많은 반도체 생산 라인에서 열공기를 사용하고 있습니다. 특히 구형 설비에서는 흔한 일이지만, 실제로는 매우 비효율적입니다. 공기는 열을 전달하는 데 아주 서툴러서, 공간이 따뜻해...

열을 낭비하지 마세요. 반도체 제조 과정에서 웨이퍼를 가열할 때, 사실상 우리는 물리 법칙과 싸우고 있는 셈입니다. 램프에서 나오는 에너지의 대부분은 그냥 흩어져 버립니다. 에너지는 모든 방향으로 퍼져나가고, 결국 비싼 전력의 상당 부분이 실리콘을 가열하는 데 사용되...

왜 트롤리 히터에 금 도금된 반사체를 사용하는가? 반도체 청정실용 트롤리 히터를 사용할 때, 중요한 것은 단 한 가지뿐입니다. 바로 웨이퍼에 열을 전달하는 것입니다. 기계의 금속 프레임을 가열하는 데 에너지나 예산을 낭비하고 싶지 않습니다. 그래서 여기서 금이 필요합...

웨이퍼 제조 과정에서, 포토레지스트를 가열할 때 생기는 0.5도 정도의 오차는 결코 “작은 오차”가 아닙니다. 이런 오차로 인해 제품의 품질이 저하됩니다. 포토레지스트의 상태가 변하고, 중요한 치수들이 변동하며, 공정이 정상적으로 진행되지 못합니다. 우리는 리소그래피...