웨이퍼 처리 과정에서 적절한 열 흐름을 확보하는 방법 팹에서 에너지를 낭비하는 것은 단순히 비용 문제가 아니라, 그 자체가 실패입니다. 팹의 램프를 켰을 때, 모든 와트의 전력이 반드시 웨이퍼 표면에 도달해야 합니다. 전력이 방 안에 흩어지거나 천장을 가열하는 것은...

팹에서는 포토레지스트 처리 과정을 단순히 몇 도로 측정합니다. 소프트 베이크나 하드 베이크를 할 때 온도가 2°C만 변동해도 치명적인 결과를 초래할 수 있으며, 히터에서 나오는 작은 먼지 한 알만으로도 생산성이 급격히 저하될 수 있습니다. Clear Quartz...