헹굼용 방수 적외선 램프

왜 반도체 건조에는 적외선이 열공기보다 더 효과적인가? 만약 여전히 린스 공정에서 열공기를 사용하고 있다면, 그건 마치 시간과 싸우는 것과 같습니다. 대류 방식의 원리를 생각해보세요. 웨이퍼가 온도 변화를 느끼기 전에 먼저 공기와 챔버의 벽면을 가열해야 합니다. 이...