와이퍼 수분 제거 히터 램프

팹에서는 웨이퍼 표면에 남아 있는 수분이 노출 과정 이후 웨이퍼의 치수를 변화시킬 수 있습니다. 습도가 제어되지 않으면, 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 포토레지스트의 접착 문제가 발생할 수 있습니다. 웨이퍼의 수분을 제거하는 히터는 빠르고 깨끗한 열을 제공하여...