ウェハードライヤーランプ交換用電球

リソグラフィ工程では状況をよく理解しているはずだ。ウェハードライヤーのランプがたった0.2℃ずれても、重要寸法のバイアスが規格外に押し出される可能性がある。ソフトベイクとハードベイクは単なる熱処理ではなく、溶剤除去、ポリマーの架橋、線幅制御を設定する工程だ。ランプが不安定になると、その時点で歩留ま...