トゥインド・チューブ型のゴールドコーティングランプの正しい使い方 ここでは、このトゥインド・チューブ型のゴールドコーティングランプについて説明しましょう。高強度の赤外線加熱が必要な場合、これらのランプが最適です。私たちは二重フィラメント構造のクォーツを使用し、その表面には鏡のように機能するゴールド...

ファブの現場では、フォトレジストの処理は単純に温度で測定されます。ソフトベイクやハードベイクの際に2℃の温度変動があるだけで、重要な寸法に影響を与えてしまいます。また、ヒーターから出る微粒子1つだけで、製品の歩留まりが悪化してしまうこともあります。Clear Quartz Infrared...

300mmラインにおいて、フォトレジストのベイク性能はオーバーレイとCD均一性のゲートキーパーとなる。ソフトベイクまたはハードベイク中にウェーハ全体で数度の温度ずれが生じると、重要寸法が規格外となり、数時間分の作業が廃棄される可能性がある。ヒーターは設定温度に即座に到達し、振動なく保持し、チャンバ...