もう、高価な装置をオーブンのように使うのはやめましょう。
通常の対流式乾燥機では、装置全体が巨大なトースターのようになってしまいますよね？
それは、空気を加熱しているからです。空気を加熱すると、内壁を含むあらゆるものが熱くなってしまいます。これは問題です。高価な装置が過熱してしまい、操作員は毎回「熱い筐体に触らないように」と注意しなければなりません。
そこで私たちは、空気を加熱するのをやめて、方向性のある赤外線を利用する方法に切り替えました。
肝心なのは方向性です。
スペースヒーターではなく、懐中電灯のように考えてみてください。赤外線ランプは電磁波を直線的に放出します。エネルギーはただ漂うだけでなく、ウェーハや基材に当たった時だけ伝わります。
光を集中させることで、熱が正確に作業対象物に当たるようになります。これで、筐体の内部が無駄に熱を吸収することはありません。
熱負荷の削減
短波長の赤外線ランプを使うことで、表面の水分を素早く除去できます。放射線は部屋全体を温める必要なく、直接液体層に届きます。
これにより、熱負荷が抑えられます。そして何より良い点は、冷却ファンも休めるようになることです。電子機器が破損しないように、常にフル回転させる必要がなくなります。
デメリット（もちろん、何かしらはあります）
方向性のある加熱は、精密な制御が必要です。
もしランプの角度が数度ずれてしまうと、ウェーハではなくチャンバーの壁が加熱されてしまいます。そのため、取り付けブラケットは非常に重要で、微動だにしないようにしなければなりません。
また、高強度のランプは先端部分が非常に熱くなります。そのため、筐体用の専用の冷却システムが必要です。そうしないと、熱応力によって石英管が割れてしまいます。
より安全な作業方法
壁面が冷たく保たれていれば、誰もが快適に作業できます。
メンテナンスやウェーハの装着時に火傷する心配もありません。エネルギーは正確に製品に届き、装置自体には影響しません。