ウエハー除湿用ヒーターランプ

製造ラインでは、ウェーハ表面に付着した水分が、露光後にウェーハの寸法を変化させてしまう可能性があります。湿度が制御されていないと、ソフトベイクやハードベイクの過程でフォトレジストの接着不良が発生しやすくなります。ウェーハ上の水分を除去するためのヒーターランプは、迅速かつ確実に熱を供給し、リソグラフ...