本当に重要な場所により多くの熱を届けるために 真空状態で作業を行うと、物理法則と戦っているようなものです。空気を利用して熱を移動させることはできず、対流も起こりません。そのため、放射に頼るしかありませんが、これはかなり難しい問題です。 ウェーハに届かない1ワットのエネルギーも、無駄な熱として捨てら...

真空チャンバーを加熱するのをやめましょう。 半導体製造工場で働いたことがある人なら、この問題がどれほど面倒かわかるでしょう。ウェーハを加熱する必要はありますが、真空チャンバーをオーブンのように使ってしまってはいけません。 通常の赤外線ランプは、単なる電球のようなもので、熱をあらゆる方向に放出します...