중파 쿼츠 히터 튜브

300mm 라인에서 포토레지스트 베이크 성능은 오버레이 및 CD 균일성의 관문 역할을 한다. 소프트 베이크 또는 하드 베이크 과정에서 웨이퍼 전반에 걸쳐 몇 도의 온도 편차가 발생하면 치명적인 치수가 규격을 벗어나면서 작업 시간이 폐기될 수 있다. 히터는 설정 온도에...