왜 반도체 건조에는 적외선이 열공기보다 더 효과적인가?
만약 여전히 린스 공정에서 열공기를 사용하고 있다면, 그건 마치 시간과 싸우는 것과 같습니다.
대류 방식의 원리를 생각해보세요. 웨이퍼가 온도 변화를 느끼기 전에 먼저 공기와 챔버의 벽면을 가열해야 합니다. 이 과정은 매우 느립니다. 온도를 조절할 때마다 지연이 발생하며, 대량 생산 환경에서는 그 몇 초들이 결국 많은 시간 낭비로 이어집니다.
중간 단계를 생략하세요.
바로 여기서 적외선이 유용합니다. 적외선 램프는 공기를 가열하는 대신 전자기파를 직접 기판에 비춥니다. 공기가 따뜻해질 때까지 기다릴 필요가 없으며, 지연도 없습니다.
우리는 방수 처리된 램프를 사용하여 린스 과정에서 발생하는 수증기와 습기가 전자 장비를 손상시키는 것을 방지합니다. 에너지 전달이 직접적이기 때문에 가열 시간도 분에서 초로 줄어듭니다. 웨이퍼들이 그냥 그 자리에 있으면서 건조되기를 기다리는 일도 없어져 생산 속도가 훨씬 빨라집니다.
열을 정확한 위치에 전달하기
린스 과정에서 건조 과정으로 넘어갈 때 물이 들어오지 않도록 특별한 밀폐 장치와 코팅을 사용합니다. 고밀도 적외선 배열을 사용하면 열을 액체가 있는 정확한 위치에 집중시킬 수 있습니다. 강제 공기 흐름 방식에서는 항상 문제가 되는 ‘차가운 부분’도 없습니다.
하지만 주의해야 합니다.
적외선은 매우 강력합니다. 컨베이어의 속도가 적절하지 않거나 램프가 너무 가까이 있으면, 작은 영역이 과열되어 얇은 웨이퍼가 변형될 수 있습니다. 따라서 거리와 파워를 조절하는 데 시간을 들여야 합니다. 하지만 일단 설정이 완료되면 정말 편리합니다.
공간 절약
가장 좋은 점은, 거대한 송풍기나 복잡한 덕트 시스템을 사용할 필요가 없다는 것입니다. 대류 오븐 대신 적외선 램프를 사용하면 장비의 공간을 절약할 수 있습니다. 램프에 전선을 연결하고 타이머를 설정한 다음 기존의 라인에 설치하기만 하면 됩니다. 엔지니어들도 이 방식을 선호할 것입니다. 팬의 유지보수나 필터 교체 등의 번거로움도 없으니까요. 전체적으로 프로세스가 훨씬 효율적으로 진행됩니다.