스마트 센서 패키징 적외선
가열 중에도 클래스 100급 청정실을 깨끗하게 유지하는 방법
스마트 센서를 포장할 때 “깨끗함”은 단순한 목표가 아니라, 가장 중요한 요소입니다. 클래스 100급 환경에서는 아주 작은 금속 입자나 먼지 한 알만으로도 전체 제품이 망가질 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황...
웨이퍼 가공 공정용 온도 센서
스마트 팹에서 정확한 온도 데이터를 얻는 방법
스마트 팹을 구축할 때 가장 먼저 해야 할 일은 접촉식 센서를 사용하지 않는 것입니다. 진심으로 그렇습니다.
고속 웨이퍼 처리 과정에서는 지연 현상을 감당할 수 없습니다. 게다가 물리적인 프로브를 사용하면 오염의 위험이...