진공 환경에서도 사용 가능한 적외선 히터

실제로 중요한 곳에 더 많은 열을 전달하기 진공 상태에서 작업할 때는 물리 법칙과 싸우는 것과 같습니다. 공기를 이용해 열을 이동시킬 수 없으므로, 대류 현상도 일어나지 않습니다. 그렇다면 남는 것은 방사능뿐이며, 이 부분이 가장 문제가 됩니다. 웨이퍼에 도달하지 못...