와이퍼가 파손되는 것을 막아야 합니다.
대량 생산을 하는 반도체 공장에서는 램프가 파손되는 것은 단순한 문제가 아닙니다. 그것은 큰 재앙입니다.
IR관이 파손되면 석영 조각들과 할로겐 가스가 와이퍼 위로 쏟아집니다. 한 번만 파손되어도 전체 제품이 폐기되고 맙니다. 우리는 이러한 상황을 방지하기 위해 많은 시간을 들여 재료와 램프의 구조를 개선하는 데 신경을 썼습니다.
우리가 사용하는 재료
우리는 고순도의 합성 석영을 사용합니다. 왜냐하면 이 재료는 급격한 가열 및 냉각에도 깨지지 않기 때문입니다.
하지만 그だけ으로는 충분하지 않습니다. 우리는 보호용 커버나 얇은 코팅을 추가합니다. 이는 마치 안전망과 같은 역할을 합니다. 필라멘트가 타버리거나 관이 파손되더라도, 이 보호층이 석영 조각들이 제품에 닿는 것을 막아줍니다.
열 관리의 문제
와이퍼를 빠르게 가열시키려면 높은 와트수가 필요합니다. 하지만 너무 많은 에너지를 작은 공간에 집중시키면 ‘열점’이 생깁니다.
우리는 전압과 와트수를 조절하여 열이 전체 관에 고르게 분배되도록 합니다. 주의할 점은, 만약 전력을 최대로 사용한다면, 냉각 시스템이 정확하게 작동해야 한다는 것입니다. 만약 케이스가 너무 뜨거워지면, 전극의 밀봉부가 손상될 수 있으며, 그러면 램프가 일찍 파손될 수 있습니다.
적절한 연결 방식
그 다음은 배선입니다. 우리는 정밀하게 맞춰진 커넥터를 사용합니다. 왜냐하면 전기 아크는 치명적인 요소이기 때문입니다. 전기 아크는 석영 벽을 서서히 파괴합니다.
따라서 견고하고 진동에 강한 커넥터를 사용함으로써, 관의 끝부분에 가해지는 기계적 스트레스를 줄일 수 있습니다.
이렇게 하면 신뢰할 수 있는 열원을 얻을 수 있습니다. 물론 여전히 냉각 시스템의 유지보수가 필요하지만, 가장 위험한 고장 원인을 줄일 수 있습니다.