OLED 제조 건조 램프

OLED 리소그래피 라인에서는 드리프트를 허용할 수 없습니다. 포토레지스트 베이크 중 0.5℃ 차이만으로도 크리티컬 치수가 변화하여 마스크 레벨 전체가 폐기될 수 있습니다. 열 예산을 단순한 부가 사항이 아닌 실제 공정 파라미터로 다루는 건조 램프가 필요합니다. 내부...