ウェーハ用高精度IRセンサー

ウェーハを破損から守るために 大量生産を行う半導体工場では、ライトが壊れるというのは、単なる面倒事や少しの停止時間以上の問題です。それはまさに悪夢です。 IRチューブが破損すると、石英の破片やハロゲンガスがウェーハの上に降り注ぎます。一度破損してしまうと、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます...