파편 발생을 막아라: 램프가 고장났을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 대량 생산 환경에서 램프가 고장나는 것은 단순히 성가신 문제나 일시적인 생산 중단에 그치지 않습니다. 그것은 재앙과 같은 상황입니다. 석영관이 파열되면 유리 조각들과 할로겐 가스가 웨이퍼 위로...

와이어 복구 과정에서 발생하는 열 낭비를 막아보세요. 일반적인 적외선 램프의 문제점은, 열이 모든 방향으로 퍼진다는 것입니다. 반도체 처리실 내에서 작업할 때 이는 단순히 에너지의 낭비에 불과합니다. 반사판이 없으면, 그 열의 상당 부분이 와이어가 아닌 장비의 벽면에...