웨이퍼 처리 과정에서 적절한 열 흐름을 확보하는 방법 팹에서 에너지를 낭비하는 것은 단순히 비용 문제가 아니라, 그 자체가 실패입니다. 팹의 램프를 켰을 때, 모든 와트의 전력이 반드시 웨이퍼 표면에 도달해야 합니다. 전력이 방 안에 흩어지거나 천장을 가열하는 것은...

이제는 귀중한 장비를 오븐으로 만드는 것을 그만두세요. 일반적인 대류식 건조 방식은 결국 장비의 내부 전체를 거대한 토스터처럼 만들어버립니다. 그 이유는 공기를 가열하기 때문입니다. 공기가 가열되면 내부 벽까지 함께 뜨거워집니다. 이는 엉망진창인 상황입니다. 비싼 장...

화학 세척 구역에서의 화재 위험 대응 방법 팹 클린룸을 업그레이드할 때, 화학 세척 과정은 상당히 위험할 수 있습니다. 가연성 용매를 사용하므로, 일반적인 적외선 램프를 사용한다면 사실상 화재가 발생할 가능성이 높습니다. 이는 매우 큰 위험입니다. 그래서 저희는 특수...

클래스 100 청정실을 계속 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100 환경에서 작업할 때는 조금이라도 먼지나 화학물질이 기판에 닿으면 전체 제품이 망가질 수 있다는 것을 알고 있습니다. 문제는 대부분의 발열체들이 꽤 지저분하다는 점입니다. 이러한 발열체들은 고온이 되면...

클래스 100급 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100급 환경에서 작업할 때 가장 원치 않는 것은 난방 시스템이 마치 코르셋처럼 작동하는 것입니다. 대부분의 일반적인 히터들은 문제가 많습니다. 열이 발생하면 표면이 벗겨지거나 VOC가 방출됩니다. 이러한...

기술적 세부 사항: 성능과 정밀도 빠른 열처리 공정에 적합한 열원을 선택할 때는 단순히 강력한 열을 내는 것뿐만 아니라, 일관된 열을 공급할 수 있는 램프가 필요합니다. 저희가 추천하는 RTP 램프는 세계적으로 유명한 고성능 램프들의 대안으로서 훌륭한 성능을 발휘합니...

서론 국제적으로 사용되는 반도체 장비를 대체할 제품을 찾을 때, 무엇이 중요한지 아시나요? 바로 수치입니다. 홍보 문구가 아닙니다. 저희는 이 할로겐 적외선 램프를 그대로 교체할 수 있도록 설계했습니다. 최고급 OEM 제품과 동일한 성능과 신뢰성을 자랑하지만, 별도의...

리소그래피 공정에서는 90°C로 부드럽게 가열하는 과정에서 온도가 0.3°C만 변동해도 전체 웨이퍼의 선폭에 영향을 줄 수 있습니다. 온도의 균일성은 단순한 선호 사항이 아니라 반드시 충족되어야 하는 필수 조건입니다. 기술적으로 중요한 점들 우리는 포토레지스트 처리...